日本豐興AD-SL231D-504B TOYOOKI

1. 產(chǎn)品概述

• 型號：AD-SL231D-504B

• 品牌：豐興（Toyoko Koki）

• 類型：高真空角閥（Angle Valve）

• 設(shè)計用途：用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、分析儀器等需要高密封性和快速響應(yīng)的真空系統(tǒng)。

2. 核心特點

• 高密封性：

• 泄漏率低至 <1×10?? Pa·m3/s（氦氣檢漏），確保超高真空（UHV）環(huán)境下的穩(wěn)定性。

• 金屬密封（可選氟橡膠密封，適用于不同溫度需求）。

• 快速開關(guān)：

• 氣動驅(qū)動，開關(guān)時間 <0.5秒（取決于配置），適合高頻次操作。

• 耐腐蝕性：

• 閥體和密封材料可耐受 腐蝕性氣體（如Cl?、HBr），適用于半導(dǎo)體刻蝕工藝。

• 緊湊設(shè)計：

• 輕量化結(jié)構(gòu)，節(jié)省安裝空間，適合緊湊型設(shè)備布局。

3. 技術(shù)參數(shù)

4. 典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體設(shè)備：用于刻蝕、CVD、PVD設(shè)備的腔室隔離與氣體控制。

• 真空鍍膜：磁控濺射、蒸鍍機的真空路徑切換。

• 科研儀器：電子顯微鏡、粒子加速器的真空系統(tǒng)。

5. 選型注意事項

• 兼容性：需確認(rèn)法蘭接口（如CF、KF）與現(xiàn)有系統(tǒng)匹配。

• 驅(qū)動方式：氣動需配置潔凈壓縮空氣源，電動需對接PLC控制。

• 特殊需求：腐蝕性氣體應(yīng)用需選擇SUS316L材質(zhì)和金屬密封。

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日本豐興AD-SL231D-504B TOYOOKI